Die Röntgenfluoreszenzanalyse (auch RFA oder XRF, abgekürzt von engl. X-ray fluorescence) ist eine nicht-destruktive Methode zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Materialien. Sie basiert auf der Wechselwirkung von Röntgenstrahlung mit Materie.
Bei der RFA wird das zu analysierende Material einer Röntgenstrahlung ausgesetzt. Diese Röntgenstrahlung besteht aus hochenergetischen Photonen, die auf die Atome des Materials treffen. Durch diese Anregung werden die Elektronen in den inneren Schalen der Atome aus ihrer stabilen Position herausgeschlagen. Anschließend fallen Elektronen aus äußeren Schalen in die Lücken der inneren Schalen und geben dabei energiereiche Röntgenstrahlung ab. Diese charakteristischen Röntgenstrahlen haben für jedes Element eine eindeutige Energie.
Die charakteristischen Röntgenstrahlen werden von einem Detektor registriert und analysiert. Aus den gemessenen Energiewerten der Röntgenstrahlen kann die chemische Zusammensetzung des Materials bestimmt werden. Die Methode eignet sich sowohl für die qualitative als auch für die quantitative Analyse von Elementen.
Die Röntgenfluoreszenzanalyse findet in vielen Bereichen Anwendung, wie zum Beispiel bei der Materialprüfung, in der Geologie, in der Archäologie, in der Umweltanalytik und in der Kunstanalyse. Sie zeichnet sich durch ihre hohe Genauigkeit, Schnelligkeit und zerstörungsfreie Durchführung aus. Allerdings eignet sie sich nicht für die Untersuchung von leichtflüchtigen Elementen und leichten Elementen, deren Röntgenstrahlung schwach ist.
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