Was ist turbomolekularpumpe?

Eine turbomolekulare Pumpe ist eine Art von Vakuumpumpe, die hauptsächlich für den Einsatz in Hochvakuumumgebungen verwendet wird. Sie verwendet die kinetische Energie der Moleküle, um ein Vakuum zu erzeugen.

Die Funktionsweise einer turbomolekularen Pumpe basiert auf dem Prinzip der Turbinenbewegung. Sie besteht aus einem Rotor, der mit hoher Geschwindigkeit rotiert, und einem Stator, der den Rotor umgibt. Der Rotor enthält gekrümmte Schaufeln, die einem aerodynamischen Profil ähneln. Wenn der Rotor rotiert, beschleunigen die Schaufeln die Moleküle und erzeugen so einen Richtungswechsel. Dies führt dazu, dass die Moleküle kontinuierlich in Richtung Auslass der Pumpe bewegt werden.

Es gibt verschiedene Arten von turbomolekularen Pumpen, darunter auch Varianten mit einer oder mehreren Stufen. Eine Einstufenpumpe besteht aus einem Rotor und einem Stator, während eine mehrstufige Pumpe aus mehreren Rotoren und Statoren besteht. Die Mehrstufenpumpe erzeugt ein höheres Vakuum als die Einstufenpumpe.

Turbomolekulare Pumpen bieten mehrere Vorteile, darunter hohe Pumpgeschwindigkeiten, geringes Gewicht und geringe Geräuschentwicklung. Sie werden häufig in Anwendungen eingesetzt, bei denen ein hochreines Vakuum erforderlich ist, wie zum Beispiel in der Halbleiterindustrie, der Massenspektrometrie, der Forschung und Entwicklung sowie in der Raumfahrttechnik.

Es ist wichtig zu beachten, dass turbomolekulare Pumpen in der Regel in Kombination mit anderen Vakuumpumpen, wie z.B. einer Drehschieberpumpe, verwendet werden, um ein effizientes Vakuumsystem zu schaffen.

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