Die Elektronenrückstreubeugung (Electron Backscatter Diffraction, EBSD) ist eine Methode zur Charakterisierung der Kristallstruktur eines Materials. Sie basiert auf der Beugung von Elektronen an den Atomen in einer Probe.
Bei der Elektronenrückstreubeugung wird ein Elektronenstrahl auf die Oberfläche der Probe gerichtet. Die Elektronen werden von den Atomen in der Probe gestreut, wobei die Beugungsmuster gemessen werden. Anhand dieser Beugungsmuster kann die Kristallstruktur des Materials bestimmt werden.
EBSD wird häufig in der Materialwissenschaft, Metallurgie und Geologie eingesetzt, um Informationen über die Kristallstruktur, Kornorientierung, Phasenidentifikation, Textur und Spannungsverteilung in Materialien zu erhalten.
EBSD kann auch zur Untersuchung von Verformungs- und Wachstumsmechanismen in metallischen Werkstoffen verwendet werden. Durch Kombination mit anderen Analysemethoden wie Rasterkraftmikroskopie (AFM) oder Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) können zusätzliche Informationen über die chemische Zusammensetzung und morphologische Eigenschaften der Probe gewonnen werden.
Die Methode der Elektronenrückstreubeugung hat den Vorteil, dass sie schnelle, nicht destruktive und hochauflösende Analysen ermöglicht. Sie kann an einer Vielzahl von Proben, einschließlich dünnen Schichten, Pulverproben und Festkörpern, durchgeführt werden.
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